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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5921990	欠陥検出方法	2016年 5月24日
特許 5918478	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 5月18日
特許 5916657	半導体装置の製造方法及び露光用マスクへのパターン形成方法	2016年 5月11日
特許 5905209	荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法	2016年 4月20日
特許 5897888	荷電粒子ビーム描画装置	2016年 4月 6日
特許 5894856	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 3月30日
特許 5896775	電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法	2016年 3月30日
特許 5881972	ＤＡＣアンプの評価方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2016年 3月 9日
特許 5877679	レチクルの支持機構および検査装置	2016年 3月 8日
特許 5877702	成膜装置および成膜方法	2016年 3月 8日
特許 5879234	マスク描画装置、電子ビームの補正方法	2016年 3月 8日
特許 5871557	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 3月 1日
特許 5871558	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 3月 1日
特許 5864334	荷電粒子ビーム描画装置、パターン検査装置及びレイアウト表示方法	2016年 2月17日
特許 5865980	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 2月17日

56 件中 31-45 件を表示

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5921990 5918478 5916657 5905209 5897888 5894856 5896775 5881972 5877679 5877702 5879234 5871557 5871558 5864334 5865980

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