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株式会社ニューフレアテクノロジー

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 ■ 2016年 出願公開件数ランキング    第340位 106件 (上昇2015年:第460位 70件)

 ■ 2016年 特許取得件数ランキング    第493位 56件 (下降2015年:第385位 67件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6013089 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2016年10月25日
特許 6000695 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2016年10月 5日
特許 6000676 成膜装置および成膜方法 2016年10月 5日
特許 5988486 成膜装置および成膜方法 2016年 9月 7日
特許 5985852 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2016年 9月 6日
特許 5977941 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2016年 8月24日
特許 5977629 荷電粒子ビームの偏向形状誤差取得方法及び荷電粒子ビーム描画方法 2016年 8月24日
特許 5977550 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2016年 8月24日
特許 5970213 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2016年 8月17日
特許 5970190 照明装置、および拡大観察装置 2016年 8月17日
特許 5964107 半導体製造装置および半導体製造方法 2016年 8月 3日
特許 5964067 荷電粒子ビーム描画装置 2016年 8月 3日
特許 5956797 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2016年 7月27日
特許 5956217 荷電粒子ビーム描画装置、検査装置、及び描画データの検査方法 2016年 7月27日
特許 5945222 ドリフト補正方法および描画データの作成方法 2016年 7月 5日

56 件中 16-30 件を表示

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6013089 6000695 6000676 5988486 5985852 5977941 5977629 5977550 5970213 5970190 5964107 5964067 5956797 5956217 5945222

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