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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6014342	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2016年10月25日
特許 6000676	成膜装置および成膜方法	2016年10月 5日
特許 6000695	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年10月 5日
特許 5988486	成膜装置および成膜方法	2016年 9月 7日
特許 5985852	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 9月 6日
特許 5977550	マルチ荷電粒子ビーム描画装置	2016年 8月24日
特許 5977629	荷電粒子ビームの偏向形状誤差取得方法及び荷電粒子ビーム描画方法	2016年 8月24日
特許 5977941	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2016年 8月24日
特許 5970190	照明装置、および拡大観察装置	2016年 8月17日
特許 5970213	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2016年 8月17日
特許 5964067	荷電粒子ビーム描画装置	2016年 8月 3日
特許 5964107	半導体製造装置および半導体製造方法	2016年 8月 3日
特許 5956217	荷電粒子ビーム描画装置、検査装置、及び描画データの検査方法	2016年 7月27日
特許 5956797	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2016年 7月27日
特許 5945222	ドリフト補正方法および描画データの作成方法	2016年 7月 5日

56 件中 16-30 件を表示

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6014342 6000676 6000695 5988486 5985852 5977550 5977629 5977941 5970190 5970213 5964067 5964107 5956217 5956797 5945222

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