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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第387位 99件
(2018年:第415位 83件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第385位 68件
(2018年:第450位 58件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2019-175761 | 荷電粒子ビーム照射装置 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-176001 | アパーチャ部材及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-176047 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-176049 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-169536 | 基板搬送システム及び基板除電方法 | 2019年10月 3日 | |
特開 2019-158405 | 検査装置、検査方法、及びプログラム | 2019年 9月19日 | |
特開 2019-152634 | パターン検査方法及びパターン検査装置 | 2019年 9月12日 | |
特開 2019-153536 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2019年 9月12日 | |
特開 2019-153622 | 可変成形型荷電粒子ビーム照射装置及び可変成形型荷電粒子ビーム照射方法 | 2019年 9月12日 | |
特開 2019-153630 | 気相成長方法 | 2019年 9月12日 | |
特開 2019-144109 | 荷電粒子ビーム検査方法 | 2019年 8月29日 | |
特開 2019-139022 | 検査装置および検査方法 | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-139104 | パターン検査方法およびパターン検査装置 | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-135464 | パターン検査方法およびパターン検査装置 | 2019年 8月15日 | |
特開 2019-134093 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年 8月 8日 |
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2019-175761 2019-176001 2019-176047 2019-176049 2019-169536 2019-158405 2019-152634 2019-153536 2019-153622 2019-153630 2019-144109 2019-139022 2019-139104 2019-135464 2019-134093
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