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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2019年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 上昇2018年:第415位 83件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第385位 68件 上昇2018年:第450位 58件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-106498 マルチビーム用アパーチャセット 2019年 6月27日
特開 2019-106499 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年 6月27日
特開 2019-101221 データ収集装置およびデータ収集方法 2019年 6月24日
特開 2019-102661 ビーム偏向形状取得方法及びブランキングアパーチャアレイの配置角度取得方法 2019年 6月24日
特開 2019-84474 集塵装置 2019年 6月 6日
特開 2019-86481 パターン検査装置及びパターン検査方法 2019年 6月 6日
特開 2019-86590 パターン検査方法およびパターン検査装置 2019年 6月 6日
特開 2019-87531 マルチビームの個別ビーム検出器、マルチビーム照射装置、及びマルチビームの個別ビーム検出方法 2019年 6月 6日
特開 2019-83227 描画装置およびその制御方法 2019年 5月30日
特開 2019-79857 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年 5月23日
特開 2019-79858 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2019年 5月23日
特開 2019-79953 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2019年 5月23日
特開 2019-66207 検査方法および検査装置 2019年 4月25日
特開 2019-66471 検査方法および検査装置 2019年 4月25日
特開 2019-67881 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2019年 4月25日

102 件中 61-75 件を表示

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2019-106498 2019-106499 2019-101221 2019-102661 2019-84474 2019-86481 2019-86590 2019-87531 2019-83227 2019-79857 2019-79858 2019-79953 2019-66207 2019-66471 2019-67881

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