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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第387位 99件
(2018年:第415位 83件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第385位 68件
(2018年:第450位 58件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2019-106498 | マルチビーム用アパーチャセット | 2019年 6月27日 | |
特開 2019-106499 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 6月27日 | |
特開 2019-101221 | データ収集装置およびデータ収集方法 | 2019年 6月24日 | |
特開 2019-102661 | ビーム偏向形状取得方法及びブランキングアパーチャアレイの配置角度取得方法 | 2019年 6月24日 | |
特開 2019-84474 | 集塵装置 | 2019年 6月 6日 | |
特開 2019-86481 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2019年 6月 6日 | |
特開 2019-86590 | パターン検査方法およびパターン検査装置 | 2019年 6月 6日 | |
特開 2019-87531 | マルチビームの個別ビーム検出器、マルチビーム照射装置、及びマルチビームの個別ビーム検出方法 | 2019年 6月 6日 | |
特開 2019-83227 | 描画装置およびその制御方法 | 2019年 5月30日 | |
特開 2019-79857 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 5月23日 | |
特開 2019-79858 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 5月23日 | |
特開 2019-79953 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2019年 5月23日 | |
特開 2019-66207 | 検査方法および検査装置 | 2019年 4月25日 | |
特開 2019-66471 | 検査方法および検査装置 | 2019年 4月25日 | |
特開 2019-67881 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2019年 4月25日 |
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2019-106498 2019-106499 2019-101221 2019-102661 2019-84474 2019-86481 2019-86590 2019-87531 2019-83227 2019-79857 2019-79858 2019-79953 2019-66207 2019-66471 2019-67881
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6月13日(金) -
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6月10日(火) -
6月16日(月) - 東京 大田
6月17日(火) -
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6月19日(木) -
6月20日(金) - 東京 千代田区
6月20日(金) -
6月16日(月) - 東京 大田
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