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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第595位 53件
(2020年:第433位 79件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第483位 50件
(2020年:第402位 64件)
(ランキング更新日:2025年9月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6834817 | マルチビーム検査用アパーチャ、マルチビーム用ビーム検査装置、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年 2月24日 | |
特許 6819475 | データ処理方法、荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画システム | 2021年 1月27日 | |
特許 6819509 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年 1月27日 | |
特許 6815192 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2021年 1月20日 | |
特許 6815469 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2021年 1月20日 | |
特許 6808986 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 | 2021年 1月 6日 |
51 件中 46-51 件を表示
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6834817 6819475 6819509 6815192 6815469 6808986
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