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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2021年 特許取得件数ランキング    第483位 50件 下降2020年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6877239 パターン検査装置及びパターン検査方法 2021年 5月26日
特許 6878247 パターン検査方法およびパターン検査装置 2021年 5月26日
特許 6869695 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2021年 5月12日
特許 6869815 検査方法および検査装置 2021年 5月12日
特許 6866111 成膜装置および成膜方法 2021年 4月28日
特許 6861508 マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 2021年 4月21日
特許 6861543 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2021年 4月21日
特許 6863208 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2021年 4月21日
特許 6863259 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2021年 4月21日
特許 6854215 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2021年 4月 7日
特許 6851178 パターン検査方法及びパターン検査装置 2021年 3月31日
特許 6851181 マルチビーム光学系の調整方法 2021年 3月31日
特許 6844999 マルチ荷電粒子ビーム描画装置およびマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2021年 3月17日
特許 6845000 マルチ荷電粒子ビーム露光装置およびマルチ荷電粒子ビーム露光方法 2021年 3月17日
特許 6834429 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 2021年 2月24日

51 件中 31-45 件を表示

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6877239 6878247 6869695 6869815 6866111 6861508 6861543 6863208 6863259 6854215 6851178 6851181 6844999 6845000 6834429

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