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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7074479 | マルチビーム検査装置 | 2022年 5月24日 | |
特許 7074639 | マルチビームの個別ビーム検出器、マルチビーム照射装置、及びマルチビームの個別ビーム検出方法 | 2022年 5月24日 | |
特許 7070033 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 5月18日 | |
特許 7062549 | 検査装置 | 2022年 5月17日 | |
特許 7062559 | 荷電粒子装置 | 2022年 5月17日 | |
特許 7063281 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年 5月 9日 | |
特許 7057220 | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム光学系の位置決め方法 | 2022年 4月19日 | |
特許 7051592 | クリーニング装置 | 2022年 4月11日 | |
特許 7051729 | 試料検査装置及び試料検査方法 | 2022年 4月11日 | |
特許 7042118 | 検査装置、検査方法、及びプログラム | 2022年 3月25日 | |
特許 7037372 | 成膜装置および成膜方法 | 2022年 3月16日 | |
特許 7037513 | 描画装置および描画方法 | 2022年 3月16日 | |
特許 7036574 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2022年 3月15日 | |
特許 7034825 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 3月14日 | |
特許 7034847 | ドライ洗浄装置及び、そのドライ洗浄方法 | 2022年 3月14日 |
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7074479 7074639 7070033 7062549 7062559 7063281 7057220 7051592 7051729 7042118 7037372 7037513 7036574 7034825 7034847
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