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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7119688 | 描画データ生成方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年 8月17日 | |
特許 7114337 | ケーブル固定具及びケーブル固定具を備える移動ステージ装置 | 2022年 8月 8日 | |
特許 7110831 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 8月 2日 | |
特許 7111496 | パターン検査装置 | 2022年 8月 2日 | |
特許 7106297 | 可変成形型荷電粒子ビーム照射装置及び可変成形型荷電粒子ビーム照射方法 | 2022年 7月26日 | |
特許 7106299 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム走査のスキャン順序取得方法 | 2022年 7月26日 | |
特許 7106353 | マルチ荷電粒子ビーム検査装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査方法 | 2022年 7月26日 | |
特許 7095395 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 7月 5日 | |
特許 7094752 | 荷電粒子ビーム照射装置 | 2022年 7月 4日 | |
特許 7094782 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2022年 7月 4日 | |
特許 7093242 | 荷電粒子ビーム画像取得装置 | 2022年 6月29日 | |
特許 7087964 | セトリング時間の取得方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 6月21日 | |
特許 7086811 | 電子銃及び電子線装置 | 2022年 6月20日 | |
特許 7079569 | 検査方法 | 2022年 6月 2日 | |
特許 7073668 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年 5月24日 |
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7119688 7114337 7110831 7111496 7106297 7106299 7106353 7095395 7094752 7094782 7093242 7087964 7086811 7079569 7073668
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