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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2022年 特許取得件数ランキング    第398位 74件 上昇2021年:第483位 50件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7119688 描画データ生成方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2022年 8月17日
特許 7114337 ケーブル固定具及びケーブル固定具を備える移動ステージ装置 2022年 8月 8日
特許 7110831 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年 8月 2日
特許 7111496 パターン検査装置 2022年 8月 2日
特許 7106297 可変成形型荷電粒子ビーム照射装置及び可変成形型荷電粒子ビーム照射方法 2022年 7月26日
特許 7106299 電子ビーム検査装置及び電子ビーム走査のスキャン順序取得方法 2022年 7月26日
特許 7106353 マルチ荷電粒子ビーム検査装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査方法 2022年 7月26日
特許 7095395 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2022年 7月 5日
特許 7094752 荷電粒子ビーム照射装置 2022年 7月 4日
特許 7094782 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 2022年 7月 4日
特許 7093242 荷電粒子ビーム画像取得装置 2022年 6月29日
特許 7087964 セトリング時間の取得方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年 6月21日
特許 7086811 電子銃及び電子線装置 2022年 6月20日
特許 7079569 検査方法 2022年 6月 2日
特許 7073668 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2022年 5月24日

76 件中 31-45 件を表示

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7119688 7114337 7110831 7111496 7106297 7106299 7106353 7095395 7094752 7094782 7093242 7087964 7086811 7079569 7073668

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