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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2022年 出願公開件数ランキング    第572位 53件 上昇2021年:第595位 53件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第398位 74件 上昇2021年:第483位 50件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7166865 荷電粒子ビーム装置 2022年11月 8日
特許 7165596 マルチ電子ビーム検出器、マルチ電子ビーム検出器の製造方法、及びマルチ電子ビーム検査装置 2022年11月 4日
特許 7164332 気相成長装置 2022年11月 1日
特許 7163073 真空装置 2022年10月31日
特許 7159970 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2022年10月25日
特許 7152970 気相成長装置 2022年10月13日
特許 7144262 パターン検査装置及び参照画像の作成方法 2022年 9月29日
特許 7144283 気相成長装置 2022年 9月29日
特許 7144608 気相成長方法及び気相成長装置 2022年 9月29日
特許 7135637 マスク検査装置及びマスク検査方法 2022年 9月13日
特許 7130553 観察または測定装置、及び、観察または測定方法 2022年 9月 5日
特許 7126355 荷電粒子ビーム検査方法 2022年 8月26日
特許 7126367 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2022年 8月26日
特許 7124763 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2022年 8月24日
特許 7119572 マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画装置用ブランキングアパーチャアレイ、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の運用方法、及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年 8月17日

76 件中 16-30 件を表示

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7166865 7165596 7164332 7163073 7159970 7152970 7144262 7144283 7144608 7135637 7130553 7126355 7126367 7124763 7119572

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