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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7166865 | 荷電粒子ビーム装置 | 2022年11月 8日 | |
特許 7165596 | マルチ電子ビーム検出器、マルチ電子ビーム検出器の製造方法、及びマルチ電子ビーム検査装置 | 2022年11月 4日 | |
特許 7164332 | 気相成長装置 | 2022年11月 1日 | |
特許 7163073 | 真空装置 | 2022年10月31日 | |
特許 7159970 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年10月25日 | |
特許 7152970 | 気相成長装置 | 2022年10月13日 | |
特許 7144262 | パターン検査装置及び参照画像の作成方法 | 2022年 9月29日 | |
特許 7144283 | 気相成長装置 | 2022年 9月29日 | |
特許 7144608 | 気相成長方法及び気相成長装置 | 2022年 9月29日 | |
特許 7135637 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2022年 9月13日 | |
特許 7130553 | 観察または測定装置、及び、観察または測定方法 | 2022年 9月 5日 | |
特許 7126355 | 荷電粒子ビーム検査方法 | 2022年 8月26日 | |
特許 7126367 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 8月26日 | |
特許 7124763 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年 8月24日 | |
特許 7119572 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画装置用ブランキングアパーチャアレイ、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の運用方法、及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 8月17日 |
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7166865 7165596 7164332 7163073 7159970 7152970 7144262 7144283 7144608 7135637 7130553 7126355 7126367 7124763 7119572
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