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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2021-168382	シリコンウェーハ及びその製造方法	2021年10月21日
特開 2021-163054	状態判定装置、状態判定方法、及び状態判定プログラム	2021年10月11日
特開 2021-157639	保全管理装置、保全管理方法、及び保全管理プログラム	2021年10月 7日
特開 2021-158146	シリコンウェーハへのクラスターイオン注入による白傷欠陥低減効果の評価方法及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2021年10月 7日
特開 2021-146475	ワークの両面研磨装置	2021年 9月27日
特開 2021-125647	ＳＯＩウェーハの貼合わせ方法	2021年 8月30日
特開 2021-119108	単結晶製造管理システム	2021年 8月12日
再表 2020-39553	シリコン単結晶の育成方法	2021年 8月10日
特開 2021-111703	半導体ウェーハの洗浄装置および半導体ウェーハの洗浄方法	2021年 8月 2日
特開 2021-107325	ｎ型シリコン単結晶のインゴット、シリコンウェーハ、およびエピタキシャルシリコンウェーハ	2021年 7月29日
特開 2021-107792	シリコン試料の炭素濃度評価方法およびこの方法に使用される評価装置、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法ならびにシリコン単結晶インゴットの製造方法	2021年 7月29日
特開 2021-105570	結晶欠陥の検出方法、エピタキシャル成長装置の管理方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法	2021年 7月26日
特開 2021-106181	気相成長装置	2021年 7月26日
特開 2021-106193	ＳＯＩウェーハの片面研磨システム及びそれを用いたＳＯＩウェーハの片面研磨方法	2021年 7月26日
特開 2021-106206	ワークの洗浄装置および洗浄方法	2021年 7月26日

101 件中 16-30 件を表示

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2021-168382 2021-163054 2021-157639 2021-158146 2021-146475 2021-125647 2021-119108 2020-39553 2021-111703 2021-107325 2021-107792 2021-105570 2021-106181 2021-106193 2021-106206

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