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株式会社SUMCO

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  2021年 出願公開件数ランキング    第360位 101件 下降2020年:第356位 104件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第298位 93件 下降2020年:第290位 95件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-106207 シリコンウェーハの欠陥検査方法 2021年 7月26日
特開 2021-106208 シリコンウェーハの欠陥検査方法及びシリコンウェーハの欠陥検査システム 2021年 7月26日
特開 2021-106226 半導体ウェーハ用研磨布の使用開始時期の判定方法及びそれを用いた半導体ウェーハの研磨方法、並びに半導体ウェーハ研磨システム 2021年 7月26日
特開 2021-102526 シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶 2021年 7月15日
特開 2021-103722 気相成長装置 2021年 7月15日
特開 2021-103740 研磨装置への半導体ウェーハの受け渡し方法および半導体ウェーハの製造方法 2021年 7月15日
特開 2021-103756 エピタキシャルウェーハ製造システム及び製造方法 2021年 7月15日
特開 2021-98244 研磨パッド圧着具及び研磨パッドの圧着方法 2021年 7月 1日
特開 2021-98621 シリコンインゴットへの中性子照射方法、シリコンインゴットの製造方法およびシリコンウェーハの製造方法 2021年 7月 1日
特開 2021-98622 単結晶シリコンインゴットの製造方法 2021年 7月 1日
特開 2021-98623 単結晶シリコンウェーハの酸化膜耐圧の評価方法 2021年 7月 1日
特開 2021-98629 単結晶育成方法および単結晶育成装置 2021年 7月 1日
特開 2021-100011 エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 2021年 7月 1日
特開 2021-100012 エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法並びにX線検出センサ 2021年 7月 1日
特開 2021-100013 多層SOIウェーハ及びその製造方法並びにX線検出センサ 2021年 7月 1日

101 件中 31-45 件を表示

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2021-106207 2021-106208 2021-106226 2021-102526 2021-103722 2021-103740 2021-103756 2021-98244 2021-98621 2021-98622 2021-98623 2021-98629 2021-100011 2021-100012 2021-100013

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