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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5677711 | 高性能金属酸化物及び金属酸窒化物薄膜トランジスタを作るためのゲート誘電体の処理 | 2015年 2月25日 | |
特許 5677712 | 金属酸窒化物TFT用キャッピング層 | 2015年 2月25日 | |
特許 5670694 | プラズマチャンバーとともに使用する固定インピーダンス変換回路網用の装置および方法 | 2015年 2月18日 | |
特許 5671202 | フォトレジストテンプレートマスクを用いて頻度を倍にする方法 | 2015年 2月18日 | |
特許 5666133 | 非接触型処理キット | 2015年 2月12日 | |
特許 5665744 | 拡張温度高温測定のための方法および装置 | 2015年 2月 4日 | |
特許 5658701 | 半導体ウェーハ処理システムのシャワーヘッドのための上下続きの2つのガスのフェースプレート | 2015年 1月28日 | |
特許 5659146 | プラズマ処理装置及び方法 | 2015年 1月28日 | |
特許 5659225 | プラズマ堆積ソースおよび薄膜を堆積させるための方法 | 2015年 1月28日 | |
特許 5660748 | 低温エアロゾル堆積方法及び物品 | 2015年 1月28日 | |
特許 5660753 | プラズマエッチング用高温カソード | 2015年 1月28日 | |
特許 5660888 | 除害システムの効率的な運転のための方法及び装置 | 2015年 1月28日 | |
特許 5661083 | エピタキシャル膜を形成する方法、及び、エピタキシャル膜の形成に使用するためのクラスターツール | 2015年 1月28日 | |
特許 5661983 | スパッタリングチャンバのためのターゲット及びプロセスキット部品 | 2015年 1月28日 | |
特許 5657527 | 基板をコーティングするためのコーティングシステム及び方法 | 2015年 1月21日 |
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5677711 5677712 5670694 5671202 5666133 5665744 5658701 5659146 5659225 5660748 5660753 5660888 5661083 5661983 5657527
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