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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2016年 出願公開件数ランキング    第200位 217件 上昇2015年:第263位 162件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第268位 121件 下降2015年:第236位 126件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5878162 フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイス、基板処理装置、およびそのようなデバイスを組み立てる方法 2016年 3月 8日
特許 5875864 統合型流量平衡器と改良されたコンダクタンスとを備える下部ライナ 2016年 3月 2日
特許 5876037 静電放電(ESD)の低減のための装置及び方法 2016年 3月 2日
特許 5876213 配線を形成する方法及びプラズマスパッタリアクタ 2016年 3月 2日
特許 5863882 高エネルギーイオンを使用する磁気薄膜のパターン化 2016年 2月17日
特許 5865531 急速熱処理チャンバ用のランプ 2016年 2月17日
特許 5859004 ガス注入分散デバイスを備えるシャワーヘッドアセンブリ 2016年 2月10日
特許 5848862 カプセル化膜の遮水性能の改善 2016年 1月27日
特許 5849124 基板処理チャンバ用処理キット 2016年 1月27日
特許 5844722 基板洗浄チャンバ及び構成部品 2016年 1月20日
特許 5844808 ターゲットバッキングチューブ用の磁石構成体、磁石構成体を含むターゲットバッキングチューブ、円筒形ターゲットアセンブリ、およびスパッタリングシステム 2016年 1月20日
特許 5846917 基板を移動させるシステム、装置、および方法 2016年 1月20日
特許 5847388 RF給電構造及びプラズマ処理装置 2016年 1月20日
特許 5844025 自己マスク層を有するフォトマスクとそのエッチング方法 2016年 1月13日
特許 5844390 遠隔励起式のフッ素および水蒸気エッチング 2016年 1月13日

121 件中 106-120 件を表示

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5878162 5875864 5876037 5876213 5863882 5865531 5859004 5848862 5849124 5844722 5844808 5846917 5847388 5844025 5844390

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