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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第200位 217件
(2015年:第263位 162件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第268位 121件
(2015年:第236位 126件)
(ランキング更新日:2025年9月1日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5878162 | フレキシブル基板に対するチャンバ入り口またはチャンバ出口を密封するためのデバイス、基板処理装置、およびそのようなデバイスを組み立てる方法 | 2016年 3月 8日 | |
特許 5875864 | 統合型流量平衡器と改良されたコンダクタンスとを備える下部ライナ | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876037 | 静電放電(ESD)の低減のための装置及び方法 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876213 | 配線を形成する方法及びプラズマスパッタリアクタ | 2016年 3月 2日 | |
特許 5863882 | 高エネルギーイオンを使用する磁気薄膜のパターン化 | 2016年 2月17日 | |
特許 5865531 | 急速熱処理チャンバ用のランプ | 2016年 2月17日 | |
特許 5859004 | ガス注入分散デバイスを備えるシャワーヘッドアセンブリ | 2016年 2月10日 | |
特許 5848862 | カプセル化膜の遮水性能の改善 | 2016年 1月27日 | |
特許 5849124 | 基板処理チャンバ用処理キット | 2016年 1月27日 | |
特許 5844722 | 基板洗浄チャンバ及び構成部品 | 2016年 1月20日 | |
特許 5844808 | ターゲットバッキングチューブ用の磁石構成体、磁石構成体を含むターゲットバッキングチューブ、円筒形ターゲットアセンブリ、およびスパッタリングシステム | 2016年 1月20日 | |
特許 5846917 | 基板を移動させるシステム、装置、および方法 | 2016年 1月20日 | |
特許 5847388 | RF給電構造及びプラズマ処理装置 | 2016年 1月20日 | |
特許 5844025 | 自己マスク層を有するフォトマスクとそのエッチング方法 | 2016年 1月13日 | |
特許 5844390 | 遠隔励起式のフッ素および水蒸気エッチング | 2016年 1月13日 |
121 件中 106-120 件を表示
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5878162 5875864 5876037 5876213 5863882 5865531 5859004 5848862 5849124 5844722 5844808 5846917 5847388 5844025 5844390
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9月12日(金) -
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