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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第138位 311件 上昇2019年:第141位 330件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第136位 210件 上昇2019年:第156位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6662977 高アスペクト比半導体デバイス構造のための、汚染物質除去を伴うスティクションフリー乾燥処理 2020年 3月11日
特許 6663381 可変型温度制御式基板支持アセンブリ 2020年 3月11日
特許 6663457 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ 2020年 3月11日
特許 6656153 より小さいウエハおよびウエハ片向けのウエハキャリア 2020年 3月 4日
特許 6656255 基板をリンスするシステム及び方法 2020年 3月 4日
特許 6656261 蒸発した材料を堆積させるための装置、分配管、真空堆積チャンバ、及び蒸発した材料を堆積させるための方法 2020年 3月 4日
特許 6657239 材料堆積源構成の分配アセンブリのためのノズル、材料堆積源構成、真空堆積システム、及び材料を堆積させるための方法 2020年 3月 4日
特許 6659677 付加製造プロセスにより製作される研磨パッド 2020年 3月 4日
特許 6653255 堆積用監視システム及びその操作方法 2020年 2月26日
特許 6655600 静電チャックのためのガス効率の向上 2020年 2月26日
特許 6655602 バイオメディカルデバイス用液膜のパターン堆積 2020年 2月26日
特許 6655753 照明源としてのマイクロLEDアレイ 2020年 2月26日
特許 6651576 マルチゾーン温度制御および多パージ機能を有するペデスタル 2020年 2月19日
特許 6651581 DCバイアス変調による、粒子発生抑制装置 2020年 2月19日
特許 6647198 チャックアセンブリを有する極端紫外線リソグラフィーシステム及びその製造方法 2020年 2月14日

211 件中 166-180 件を表示

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6662977 6663381 6663457 6656153 6656255 6656261 6657239 6659677 6653255 6655600 6655602 6655753 6651576 6651581 6647198

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