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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第138位 311件
(2019年:第141位 330件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第136位 210件
(2019年:第156位 176件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6662977 | 高アスペクト比半導体デバイス構造のための、汚染物質除去を伴うスティクションフリー乾燥処理 | 2020年 3月11日 | |
特許 6663381 | 可変型温度制御式基板支持アセンブリ | 2020年 3月11日 | |
特許 6663457 | 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ | 2020年 3月11日 | |
特許 6656153 | より小さいウエハおよびウエハ片向けのウエハキャリア | 2020年 3月 4日 | |
特許 6656255 | 基板をリンスするシステム及び方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6656261 | 蒸発した材料を堆積させるための装置、分配管、真空堆積チャンバ、及び蒸発した材料を堆積させるための方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6657239 | 材料堆積源構成の分配アセンブリのためのノズル、材料堆積源構成、真空堆積システム、及び材料を堆積させるための方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6659677 | 付加製造プロセスにより製作される研磨パッド | 2020年 3月 4日 | |
特許 6653255 | 堆積用監視システム及びその操作方法 | 2020年 2月26日 | |
特許 6655600 | 静電チャックのためのガス効率の向上 | 2020年 2月26日 | |
特許 6655602 | バイオメディカルデバイス用液膜のパターン堆積 | 2020年 2月26日 | |
特許 6655753 | 照明源としてのマイクロLEDアレイ | 2020年 2月26日 | |
特許 6651576 | マルチゾーン温度制御および多パージ機能を有するペデスタル | 2020年 2月19日 | |
特許 6651581 | DCバイアス変調による、粒子発生抑制装置 | 2020年 2月19日 | |
特許 6647198 | チャックアセンブリを有する極端紫外線リソグラフィーシステム及びその製造方法 | 2020年 2月14日 |
211 件中 166-180 件を表示
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6662977 6663381 6663457 6656153 6656255 6656261 6657239 6659677 6653255 6655600 6655602 6655753 6651576 6651581 6647198
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