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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6502325	基板内に構造を生成するためのシステム	2019年 4月17日
特許 6502498	熱伝導部品を有する光学アセンブリ	2019年 4月17日
特許 6503326	光学アセンブリ、投影系、計測系、及びＥＵＶリソグラフィー装置	2019年 4月17日
特許 6503368	リソグラフィーシステムの少なくとも１つのミラーの傾斜角を測定する装置及び方法	2019年 4月17日
特許 6498676	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2019年 4月10日
特許 6498693	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスのためのＥＵＶ光源	2019年 4月10日
特許 6499658	マイクロミラーアレイ	2019年 4月10日
特許 6493584	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2019年 4月 3日
特許 6489374	結像光学系及び投影露光装置	2019年 3月27日
特許 6489769	ＥＵＶ波長帯斜入射用反射光学素子	2019年 3月27日
特許 6485921	コレクター	2019年 3月20日
特許 6487424	マイクロリソグラフィ投影露光システムのミラー及びミラーを加工する方法	2019年 3月20日
特許 6487908	光学装置、特にプラズマ光源またはＥＵＶリソグラフィ装置	2019年 3月20日
特許 6481149	調整機能を最適化した投影露光装置	2019年 3月13日
特許 6482137	フォトリソグラフィマスクの基板上のアラインメントマークの基準点の自動決定のための方法及びデバイス	2019年 3月13日

69 件中 46-60 件を表示

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6502325 6502498 6503326 6503368 6498676 6498693 6499658 6493584 6489374 6489769 6485921 6487424 6487908 6481149 6482137

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