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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6591976	溶融シリカから構成されたブランクに水素を添加する方法、レンズ素子および投影レンズ	2019年10月16日
特許 6592045	ソース中空体及びそのようなソース中空体を含むＥＵＶプラズマ光源	2019年10月16日
特許 6576435	ビーム誘導光学系から誘導される光線を分析するためのシステム及び方法	2019年 9月18日
特許 6571535	光学モジュール	2019年 9月 4日
特許 6568865	ミラーアレイ	2019年 8月28日
特許 6560670	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー	2019年 8月14日
特許 6561110	基板上の欠陥の場所を特定する方法	2019年 8月14日
特許 6554483	光学構成要素及び／又はウェーハの予め決められた３次元輪郭を発生させる方法及び装置	2019年 7月31日
特許 6550066	ミラー素子を製造する方法	2019年 7月24日
特許 6550398	素子を作動させるための方法および装置	2019年 7月24日
特許 6545644	絞りを有する投影対物系	2019年 7月17日
特許 6545701	マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーを位置合わせする方法	2019年 7月17日
特許 6545726	光学マニピュレータ、投影レンズおよび投影露光装置	2019年 7月17日
特許 6546172	反射光学素子、特にマイクロリソグラフィの光学特性を測定する測定構成体	2019年 7月17日
特許 6546912	光学結像系の光学特性を測定する方法及び装置	2019年 7月17日

69 件中 16-30 件を表示

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6591976 6592045 6576435 6571535 6568865 6560670 6561110 6554483 6550066 6550398 6545644 6545701 6545726 6546172 6546912

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