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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6542208	光学コンポーネント	2019年 7月10日
特許 6543642	偏光パラメータを測定するための測定装置	2019年 7月10日
特許 6534384	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2019年 6月26日
特許 6535601	投影露光装置に使用される出力ビームを発生させるためのＥＵＶ光源	2019年 6月26日
特許 6535660	質量分析計、その使用、およびガス混合物の質量分析検査の方法	2019年 6月26日
特許 6530603	光学コンポーネント	2019年 6月12日
特許 6530718	光学結像装置のモデルベース制御	2019年 6月12日
特許 6527397	マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法	2019年 6月 5日
特許 6527883	ＥＵＶミラー及びＥＵＶミラーを備えた光学系	2019年 6月 5日
特許 6523228	荷電試料面を検査する方法及びデバイス	2019年 5月29日
特許 6510979	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2019年 5月 8日
特許 6504506	ファセットミラー	2019年 4月24日
特許 6505730	マイクロリソグラフィー投影露光装置用のミラー	2019年 4月24日
特許 6501793	変形装置を備えた光学モジュール及び光学素子を変形させる方法	2019年 4月17日
特許 6502258	圧力変動の影響を減少させる手段を備える投影露光装置	2019年 4月17日

69 件中 31-45 件を表示

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6542208 6543642 6534384 6535601 6535660 6530603 6530718 6527397 6527883 6523228 6510979 6504506 6505730 6501793 6502258

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