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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第379位 113件
(2016年:第396位 90件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第305位 95件
(2016年:第324位 97件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6082537 | 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 | 2017年 2月15日 | |
特許 6082743 | 放射源、リソグラフィ装置、ノズル、およびノズルを形成する方法 | 2017年 2月15日 | |
特許 6076487 | リソグラフィ用センサシステム | 2017年 2月 8日 | |
特許 6077647 | メトロロジー方法及び装置、基板、リソグラフィシステム並びにデバイス製造方法 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6077649 | 光子源、計測装置、リソグラフィシステム及びデバイス製造方法 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6069509 | 定量的レチクル歪み測定システム | 2017年 2月 1日 | |
特許 6074058 | リソグラフィ装置およびその装置で使用するためのテーブル | 2017年 2月 1日 |
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6082537 6082743 6076487 6077647 6077649 6069509 6074058
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