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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6082537 放射源、放射源を制御する方法、リソグラフィ装置およびデバイスを製造する方法 2017年 2月15日
特許 6082743 放射源、リソグラフィ装置、ノズル、およびノズルを形成する方法 2017年 2月15日
特許 6076487 リソグラフィ用センサシステム 2017年 2月 8日
特許 6077647 メトロロジー方法及び装置、基板、リソグラフィシステム並びにデバイス製造方法 2017年 2月 8日
特許 6077649 光子源、計測装置、リソグラフィシステム及びデバイス製造方法 2017年 2月 8日
特許 6069509 定量的レチクル歪み測定システム 2017年 2月 1日
特許 6074058 リソグラフィ装置およびその装置で使用するためのテーブル 2017年 2月 1日

97 件中 91-97 件を表示

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6082537 6082743 6076487 6077647 6077649 6069509 6074058

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