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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第379位 113件
(2016年:第396位 90件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第305位 95件
(2016年:第324位 97件)
(ランキング更新日:2025年4月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6194371 | ブロック共重合体の自己組織化により基板上に間隔をあけて配置されるリソグラフィフィーチャを提供する方法 | 2017年 9月 6日 | |
特許 6189907 | ペリクル膜およびリソグラフィ装置 | 2017年 8月30日 | |
特許 6184500 | EUV光のためのターゲット材料プッシュアウトの事前補償 | 2017年 8月23日 | |
特許 6181284 | 微小構造の非対称性の測定方法ならびに測定装置、位置測定方法、位置測定装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2017年 8月16日 | |
特許 6182229 | リソグラフィ装置 | 2017年 8月16日 | |
特許 6182601 | 放射源及びリソグラフィ装置 | 2017年 8月16日 | |
特許 6182645 | EUV非出力期間中のLPP駆動レーザー出力のためのデバイス | 2017年 8月16日 | |
特許 6174605 | 燃料流生成器、ソースコレクタ装置、及び、リソグラフィ装置 | 2017年 8月 2日 | |
特許 6174606 | 放射源及びリソグラフィ装置 | 2017年 8月 2日 | |
特許 6169114 | リソグラフィ装置 | 2017年 7月26日 | |
特許 6169176 | 検査方法及び装置、リソグラフィシステム並びにデバイス製造方法 | 2017年 7月26日 | |
特許 6162145 | 自己組織化可能な重合体及びリソグラフィにおける使用方法 | 2017年 7月12日 | |
特許 6162684 | マイクロリソグラフィ投影露光装置内の要素を作動させるための設備 | 2017年 7月12日 | |
特許 6158280 | リソグラフィ装置 | 2017年 7月 5日 | |
特許 6158877 | インプリントリソグラフィ | 2017年 7月 5日 |
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6194371 6189907 6184500 6181284 6182229 6182601 6182645 6174605 6174606 6169114 6169176 6162145 6162684 6158280 6158877
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