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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6240714 熱調整ユニット、及びリソグラフィ装置 2017年11月29日
特許 6236000 リソグラフィパターニングプロセスおよび同プロセス内で使用するレジスト 2017年11月22日
特許 6227123 放射源の制御方法およびこの放射源を備えたリソグラフィ装置 2017年11月 8日
特許 6228878 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年11月 8日
特許 6222796 放射源 2017年11月 1日
特許 6215290 計算プロセス制御 2017年10月18日
特許 6216460 液浸リソグラフィ装置 2017年10月18日
特許 6209217 放射を発生させるための方法及び装置 2017年10月 4日
特許 6209234 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年10月 4日
特許 6198816 放射源 2017年 9月20日
特許 6198837 パターニングデバイス操作システム及びリソグラフィ装置 2017年 9月20日
特許 6196286 基板テーブルシステム、リソグラフィ装置および基板テーブル交換方法 2017年 9月13日
特許 6196945 リトグラフ装置 2017年 9月13日
特許 6192711 静電クランプ、リソグラフィ装置および方法 2017年 9月 6日
特許 6193870 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年 9月 6日

97 件中 16-30 件を表示

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6240714 6236000 6227123 6228878 6222796 6215290 6216460 6209217 6209234 6198816 6198837 6196286 6196945 6192711 6193870

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