エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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　■　2017年出願公開件数ランキング　　　第379位　113件（2016年：第396位　90件）

　■　2017年特許取得件数ランキング　　　第305位　95件（2016年：第324位　97件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6240714	熱調整ユニット、及びリソグラフィ装置	2017年11月29日
特許 6236000	リソグラフィパターニングプロセスおよび同プロセス内で使用するレジスト	2017年11月22日
特許 6227123	放射源の制御方法およびこの放射源を備えたリソグラフィ装置	2017年11月 8日
特許 6228878	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2017年11月 8日
特許 6222796	放射源	2017年11月 1日
特許 6215290	計算プロセス制御	2017年10月18日
特許 6216460	液浸リソグラフィ装置	2017年10月18日
特許 6209217	放射を発生させるための方法及び装置	2017年10月 4日
特許 6209234	リソグラフィ装置及びデバイス製造方法	2017年10月 4日
特許 6198816	放射源	2017年 9月20日
特許 6198837	パターニングデバイス操作システム及びリソグラフィ装置	2017年 9月20日
特許 6196286	基板テーブルシステム、リソグラフィ装置および基板テーブル交換方法	2017年 9月13日
特許 6196945	リトグラフ装置	2017年 9月13日
特許 6192711	静電クランプ、リソグラフィ装置および方法	2017年 9月 6日
特許 6193870	リソグラフィ装置及びデバイス製造方法	2017年 9月 6日

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6240714 6236000 6227123 6228878 6222796 6215290 6216460 6209217 6209234 6198816 6198837 6196286 6196945 6192711 6193870

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