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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

(ランキング更新日:2025年2月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6122073 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年 4月26日
特許 6122853 放射源 2017年 4月26日
特許 6122856 チャック、リソグラフィ装置及びチャックを使用する方法 2017年 4月26日
特許 6116128 リソグラフィ装置および方法 2017年 4月19日
特許 6116593 放射源及びリソグラフィ装置 2017年 4月19日
特許 6117188 材料供給装置のためのフィルタ 2017年 4月19日
特許 6118896 レーザ源からの主パルス及びプレパルスビームを分離するためのシステム及び方法 2017年 4月19日
特許 6114411 パターニングデバイス、基板上へのマーカ形成方法およびデバイス製造方法 2017年 4月12日
特許 6110504 リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびコンピュータプログラムプロダクト 2017年 4月 5日
特許 6110894 リトグラフ装置 2017年 4月 5日
特許 6110902 リトグラフ装置 2017年 4月 5日
特許 6099883 リソグラフィ装置及び部品 2017年 3月22日
特許 6100882 リソグラフィ装置、センサ及び方法 2017年 3月22日
特許 6101348 位置決めシステム、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年 3月22日
特許 6101704 液滴発生器ステアリングシステム 2017年 3月22日

97 件中 61-75 件を表示

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6122073 6122853 6122856 6116128 6116593 6117188 6118896 6114411 6110504 6110894 6110902 6099883 6100882 6101348 6101704

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