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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-169262 EUVリソグラフィのためのペリクル 2023年11月29日
特表 2023-549656 メトロロジシステム及びリソグラフィシステム 2023年11月29日
特表 2023-549733 能動学習に基づく欠陥位置の識別 2023年11月29日
特表 2023-549319 測定システム及びその使用方法 2023年11月24日
特表 2023-549101 暗視野デジタルホログラフィック顕微鏡及び関連メトロロジ方法 2023年11月22日
特表 2023-548663 対物レンズアレイアセンブリ、電子光学系、電子光学系アレイ、集束方法 2023年11月20日
特表 2023-548684 基板エリアの測定データをモデル化する方法及び関連する装置 2023年11月20日
特開 2023-165699 EUVリソグラフィシステムにおける光学素子寿命の延長 2023年11月17日
特開 2023-165951 EUVリソグラフィ用のメンブレン 2023年11月17日
特表 2023-546667 EUVスペクトル範囲用の2値強度マスク 2023年11月 7日
特表 2023-545963 リソグラフィ装置における基板レベルセンシング 2023年11月 1日
特表 2023-545755 マルチビームを規定するためのアパーチャパターン 2023年10月31日
特開 2023-156357 多重荷電粒子ビーム装置 2023年10月24日
特表 2023-544258 ボケ除去モデルを生成して像のボケを除去する装置及び方法 2023年10月23日
特表 2023-544266 基板ホルダ、基板ホルダを備えた搬送システム、及びリソグラフィ装置 2023年10月23日

157 件中 16-30 件を表示

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2023-169262 2023-549656 2023-549733 2023-549319 2023-549101 2023-548663 2023-548684 2023-165699 2023-165951 2023-546667 2023-545963 2023-545755 2023-156357 2023-544258 2023-544266

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