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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5463429 荷電粒子描画システム及び荷電粒子描画装置のパラメータ監視方法 2014年 4月 9日
特許 5461799 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置におけるDACアンプユニットの診断方法 2014年 4月 2日
特許 5461943 成膜装置および成膜方法 2014年 4月 2日
特許 5461878 ドリフト測定方法、荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 4月 2日
特許 5451555 DACアンプ診断装置、荷電粒子ビーム描画装置及びDACアンプ診断方法 2014年 3月26日
特許 5451832 パターン検査装置 2014年 3月26日 共同出願
特許 5450322 電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置 2014年 3月26日
特許 5442958 描画装置及び描画方法 2014年 3月19日
特許 5443548 パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月19日
特許 5443096 半導体製造装置および半導体製造方法 2014年 3月19日
特許 5443224 荷電粒子ビーム描画用データの生成方法および荷電粒子ビーム描画用データ生成装置 2014年 3月19日
特許 5441806 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2014年 3月12日
特許 5437124 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月12日
特許 5436927 荷電粒子ビーム描画装置の基板搬送方法および荷電粒子ビーム描画装置 2014年 3月 5日
特許 5432630 荷電粒子ビーム描画装置、偏向器間のタイミング調整方法、及び偏向アンプの故障検出方法 2014年 3月 5日

115 件中 76-90 件を表示

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5463429 5461799 5461943 5461878 5451555 5451832 5450322 5442958 5443548 5443096 5443224 5441806 5437124 5436927 5432630

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