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株式会社アルバック

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  2023年 出願公開件数ランキング    第641位 46件 下降2022年:第550位 56件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第259位 132件 下降2022年:第238位 135件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-131771 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2023年 9月22日
特開 2023-122812 真空処理装置及び真空処理方法 2023年 9月 5日
特開 2023-122191 膜厚監視方法および膜厚監視装置 2023年 9月 1日
特開 2023-110370 有機EL素子及びその製造方法 2023年 8月 9日
特開 2023-103649 基板処理装置および基板処理方法 2023年 7月27日
特開 2023-101120 イオンミリング源、真空処理装置、及び真空処理方法 2023年 7月20日
特開 2023-93004 真空蒸着装置、自転角度判定方法及び被蒸着物の製造方法 2023年 7月 4日
特開 2023-90467 真空処理装置 2023年 6月29日
特開 2023-83647 真空処理方法及び真空処理装置 2023年 6月16日
特開 2023-82944 プラズマ処理装置 2023年 6月15日
特開 2023-83023 真空処理装置のクリーニング方法 2023年 6月15日
特開 2023-83107 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法 2023年 6月15日
特開 2023-79667 クランプ装置及び基板保持装置 2023年 6月 8日
特開 2023-77326 真空処理装置 2023年 6月 5日
特開 2023-74135 エッチング方法、および、エッチング装置 2023年 5月29日

47 件中 16-30 件を表示

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2023-131771 2023-122812 2023-122191 2023-110370 2023-103649 2023-101120 2023-93004 2023-90467 2023-83647 2023-82944 2023-83023 2023-83107 2023-79667 2023-77326 2023-74135

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