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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件 (2014年:第58位 686件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5750107 | 安定した表面波プラズマソース | 2015年 7月15日 | |
特許 5750190 | 成膜装置及び成膜方法 | 2015年 7月15日 | |
特許 5745812 | プラズマ処理装置 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5741124 | プラズマ処理装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5741315 | 膜割れ検出装置及び成膜装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5741382 | 薄膜の形成方法及び成膜装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5741549 | 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5742185 | 成膜装置、成膜方法、回転数の最適化方法及び記憶媒体 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5742635 | 基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5742810 | プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、および半導体素子の製造方法 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5743746 | 熱処理炉及び熱処理装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5743788 | 熱処理装置 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5743853 | 液処理装置および液処理方法 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5743939 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5739534 | 処理指示装置、処理指示方法、コンピュータプログラム及び処理装置 | 2015年 6月24日 |
439 件中 181-195 件を表示
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5750107 5750190 5745812 5741124 5741315 5741382 5741549 5742185 5742635 5742810 5743746 5743788 5743853 5743939 5739534
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11月26日(火) -
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11月28日(木) - 東京 港区
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11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
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12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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