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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5750107 安定した表面波プラズマソース 2015年 7月15日
特許 5750190 成膜装置及び成膜方法 2015年 7月15日
特許 5745812 プラズマ処理装置 2015年 7月 8日
特許 5741124 プラズマ処理装置 2015年 7月 1日
特許 5741315 膜割れ検出装置及び成膜装置 2015年 7月 1日
特許 5741382 薄膜の形成方法及び成膜装置 2015年 7月 1日
特許 5741549 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体 2015年 7月 1日
特許 5742185 成膜装置、成膜方法、回転数の最適化方法及び記憶媒体 2015年 7月 1日
特許 5742635 基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体 2015年 7月 1日
特許 5742810 プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、および半導体素子の製造方法 2015年 7月 1日
特許 5743746 熱処理炉及び熱処理装置 2015年 7月 1日
特許 5743788 熱処理装置 2015年 7月 1日
特許 5743853 液処理装置および液処理方法 2015年 7月 1日
特許 5743939 基板液処理装置及び基板液処理方法 2015年 7月 1日
特許 5739534 処理指示装置、処理指示方法、コンピュータプログラム及び処理装置 2015年 6月24日

439 件中 181-195 件を表示

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5750107 5750190 5745812 5741124 5741315 5741382 5741549 5742185 5742635 5742810 5743746 5743788 5743853 5743939 5739534

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