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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5776397 洗浄方法、処理装置及び記憶媒体 2015年 9月 9日
特許 5777549 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年 9月 9日
特許 5777570 画像処理方法、画像表示方法、画像処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年 9月 9日
特許 5772508 成膜装置及びその運用方法 2015年 9月 2日
特許 5773613 異常原因分析方法及び異常分析プログラム 2015年 9月 2日
特許 5770042 熱処理装置 2015年 8月26日
特許 5771426 情報処理装置、処理システム、処理方法、及びプログラム 2015年 8月26日
特許 5764445 半導体装置の製造方法 2015年 8月19日
特許 5764592 基板処理装置、基板処理装置の監視装置及び基板処理装置の監視方法 2015年 8月19日
特許 5765154 基板処理装置及び成膜装置 2015年 8月19日
特許 5766316 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年 8月19日
特許 5766647 熱処理システム、熱処理方法、及び、プログラム 2015年 8月19日
特許 5767260 基板熱処理装置、基板熱処理方法及び基板熱処理用記録媒体 2015年 8月19日
特許 5767373 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法並びにこれを実施するためのプログラムを記憶する記憶媒体 2015年 8月19日
特許 5767570 Cu配線の形成方法およびCu膜の成膜方法、ならびに成膜システム 2015年 8月19日

439 件中 136-150 件を表示

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5776397 5777549 5777570 5772508 5773613 5770042 5771426 5764445 5764592 5765154 5766316 5766647 5767260 5767373 5767570

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