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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5740203 | プラズマ処理装置及びその処理ガス供給構造 | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5740281 | 金属膜のドライエッチング方法 | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5740550 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5740578 | 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、剥離装置及び剥離システム | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5740583 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5734353 | プラズマ処理装置 | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5735809 | 基板処理装置 | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5736687 | 基板処理装置 | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5730638 | 基板処理装置の処理室内構成部材及びその温度測定方法 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5731417 | 半導体デバイスの検査装置 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5731578 | 塗布処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び塗布処理装置 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732329 | 電動アクチュエータ | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732376 | ２流体ノズル及び基板液処理装置並びに基板液処理方法 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732495 | 生物学に基づく自律学習ツール | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5732941 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2015年 6月10日 |
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5740203 5740281 5740550 5740578 5740583 5734353 5735809 5736687 5730638 5731417 5731578 5732329 5732376 5732495 5732941
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