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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6794880 | 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置の運転方法 | 2020年12月 2日 | |
特許 6794937 | プラズマ処理装置 | 2020年12月 2日 | |
特許 6795068 | 液処理方法、基板処理装置、及び記憶媒体 | 2020年12月 2日 | |
特許 6788393 | 銅膜を形成する方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6788400 | 被処理体を処理する方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6788542 | 基板液処理装置 | 2020年11月25日 | |
特許 6788545 | タングステン膜を形成する方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6789096 | 熱処理装置、熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2020年11月25日 | |
特許 6789099 | 計測方法、除電方法及びプラズマ処理装置 | 2020年11月25日 | |
特許 6789155 | 塗布処理装置及びカップ | 2020年11月25日 | |
特許 6789171 | 基板処理装置、処理ガスノズル内のパーティクルコーティング方法及び基板処理方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6789187 | 基板反り検出装置及び基板反り検出方法、並びにこれらを用いた基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6789321 | 電解処理装置および電解処理方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6789384 | 基板処理装置および基板搬送方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6789721 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年11月25日 |
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6794880 6794937 6795068 6788393 6788400 6788542 6788545 6789096 6789099 6789155 6789171 6789187 6789321 6789384 6789721
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10月21日(火) - 東京 港区
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10月21日(火) -
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