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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6794880 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置の運転方法 2020年12月 2日
特許 6794937 プラズマ処理装置 2020年12月 2日
特許 6795068 液処理方法、基板処理装置、及び記憶媒体 2020年12月 2日
特許 6788393 銅膜を形成する方法 2020年11月25日
特許 6788400 被処理体を処理する方法 2020年11月25日
特許 6788542 基板液処理装置 2020年11月25日
特許 6788545 タングステン膜を形成する方法 2020年11月25日
特許 6789096 熱処理装置、熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2020年11月25日
特許 6789099 計測方法、除電方法及びプラズマ処理装置 2020年11月25日
特許 6789155 塗布処理装置及びカップ 2020年11月25日
特許 6789171 基板処理装置、処理ガスノズル内のパーティクルコーティング方法及び基板処理方法 2020年11月25日
特許 6789187 基板反り検出装置及び基板反り検出方法、並びにこれらを用いた基板処理装置及び基板処理方法 2020年11月25日
特許 6789321 電解処理装置および電解処理方法 2020年11月25日
特許 6789384 基板処理装置および基板搬送方法 2020年11月25日
特許 6789721 基板処理方法及び基板処理装置 2020年11月25日

443 件中 46-60 件を表示

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6794880 6794937 6795068 6788393 6788400 6788542 6788545 6789096 6789099 6789155 6789171 6789187 6789321 6789384 6789721

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