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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 773件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6775450 ステージクリーニング方法およびステージクリーニング部材、ならびに検査システム 2020年10月28日
特許 6776208 基板処理装置および基板処理方法 2020年10月28日
特許 6776367 金属配線層形成方法、金属配線層形成装置および記憶媒体 2020年10月28日
特許 6777055 基板処理装置 2020年10月28日
特許 6777704 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2020年10月28日
特許 6770825 基板処理方法及び基板処理装置 2020年10月21日
特許 6770832 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2020年10月21日
特許 6770848 被処理体を処理する方法 2020年10月21日
特許 6770868 プラズマ処理装置のインピーダンス整合のための方法 2020年10月21日
特許 6771034 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2020年10月21日
特許 6771347 基板処理装置 2020年10月21日
特許 6771418 基板処理システム、制御装置、群コントローラ及びホストコンピュータ 2020年10月21日
特許 6771613 めっき処理方法及びめっき処理部品並びにめっき処理システム 2020年10月21日
特許 6771632 載置台構造 2020年10月21日
特許 6772886 成膜装置 2020年10月21日

443 件中 91-105 件を表示

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6775450 6776208 6776367 6777055 6777704 6770825 6770832 6770848 6770868 6771034 6771347 6771418 6771613 6771632 6772886

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