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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6778548	基板処理装置及び基板処理方法	2020年11月 4日
特許 6778639	高周波発生器及びプラズマ処理装置	2020年11月 4日
特許 6779701	基板処理装置、基板処理方法及び基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体	2020年11月 4日
特許 6779769	基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体	2020年11月 4日
特許 6780330	塗布膜除去装置、塗布膜除去方法及び記憶媒体	2020年11月 4日
特許 6779846	セルフアライン式マルチパターニングのためのその場スペーサ再整形方法及びシステム	2020年11月 4日
特許 6781320	静電吸着方法、プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2020年11月 4日
特許 6781031	基板処理方法及び熱処理装置	2020年11月 4日
特許 6780557	ガス供給部材及びガス処理装置	2020年11月 4日
特許 6775349	不揮発性記憶装置の製造方法	2020年10月28日
特許 6774803	液滴吐出装置及び吐出検査方法	2020年10月28日
特許 6775322	ＴｉＯＮ膜の成膜方法	2020年10月28日
特許 6775084	処理条件設定方法、記憶媒体及び基板処理システム	2020年10月28日
特許 6775036	成膜システム、成膜方法及びコンピュータ記憶媒体	2020年10月28日
特許 6774814	化学増幅型レジスト材料及びパターン形成方法	2020年10月28日

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6778548 6778639 6779701 6779769 6780330 6779846 6781320 6781031 6780557 6775349 6774803 6775322 6775084 6775036 6774814

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