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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第25位 842件
(2021年:第33位 878件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第38位 690件
(2021年:第45位 515件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7162541 | 基板処理装置、及び基板処理方法、及び記憶媒体 | 2022年10月28日 | |
特許 7161854 | 検査装置 | 2022年10月27日 | |
特許 7161923 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年10月27日 | |
特許 7161955 | フィルタウェッティング方法及び処理液供給装置 | 2022年10月27日 | |
特許 7160291 | エッチング方法、及びエッチング装置 | 2022年10月25日 | |
特許 7159456 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2022年10月24日 | |
特許 7158131 | ステージ及びプラズマ処理装置 | 2022年10月21日 | |
特許 7158238 | 基板処理システム | 2022年10月21日 | |
特許 7158249 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | 2022年10月21日 | |
特許 7158252 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2022年10月21日 | |
特許 7158308 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2022年10月21日 | |
特許 7158337 | 成膜方法 | 2022年10月21日 | |
特許 7158549 | 基板処理方法、基板処理システム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2022年10月21日 | |
特許 7157580 | 基板検査方法及び基板検査装置 | 2022年10月20日 | |
特許 7157816 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年10月20日 |
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7162541 7161854 7161923 7161955 7160291 7159456 7158131 7158238 7158249 7158252 7158308 7158337 7158549 7157580 7157816
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