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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7365827 | 接合システム、および接合方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365878 | 計測装置及び計測方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365892 | バッフル部材及び基板処理装置 | 2023年10月20日 | |
特許 7365895 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2023年10月20日 | |
特許 7365898 | 成膜方法及び成膜装置 | 2023年10月20日 | |
特許 7365912 | エッジリング及び基板処理装置 | 2023年10月20日 | |
特許 7365923 | 温度制御装置、温度制御方法、および検査装置 | 2023年10月20日 | |
特許 7365924 | ティーチング方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365944 | 温度センサと温度測定装置及び温度測定方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365946 | 基板処理装置及びクリーニング方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365973 | ガスノズル、基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7366188 | 電源システム | 2023年10月20日 | |
特許 7366213 | プラズマ処理装置、及び電源制御方法 | 2023年10月20日 | |
特許 7365200 | 監視システム | 2023年10月19日 | |
特許 7365220 | 液処理装置及び処理液の温度調整方法 | 2023年10月19日 |
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7365827 7365878 7365892 7365895 7365898 7365912 7365923 7365924 7365944 7365946 7365973 7366188 7366213 7365200 7365220
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