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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2024年11月13日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7376733 メンテナンス装置、真空処理システム及びメンテナンス方法 2023年11月 8日
特許 7373948 テストシステム 2023年11月 6日
特許 7373963 基板支持器及びプラズマ処理装置 2023年11月 6日
特許 7373968 ガス供給システム 2023年11月 6日
特許 7374008 成膜装置および成膜方法 2023年11月 6日
特許 7374016 基板処理装置 2023年11月 6日
特許 7374017 測定方法及び測定システム 2023年11月 6日
特許 7374023 検査方法及びプラズマ処理装置 2023年11月 6日
特許 7374026 基板処理装置及び基板処理装置の製造方法 2023年11月 6日
特許 7374037 ポゴブロック 2023年11月 6日
特許 7374058 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2023年11月 6日
特許 7374300 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2023年11月 6日
特許 7374362 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2023年11月 6日
特許 7371308 有機膜の平面化法 2023年10月31日
特許 7372073 基板処理方法、基板処理装置及びクリーニング装置 2023年10月31日

764 件中 106-120 件を表示

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7376733 7373948 7373963 7373968 7374008 7374016 7374017 7374023 7374026 7374037 7374058 7374300 7374362 7371308 7372073

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