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ラム リサーチ コーポレーション

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  2022年 出願公開件数ランキング    第198位 187件 上昇2021年:第341位 108件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第512位 53件 下降2021年:第407位 63件)

(ランキング更新日:2025年6月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-518487 差圧ベースの流量計 2022年 3月15日
特表 2022-516772 金属原子層のエッチング堆積装置および金属フリー配位子による処理 2022年 3月 2日
特開 2022-28796 ギャップ充填時の蒸着およびエッチングのための装置および方法 2022年 2月16日
特表 2022-514171 半導体処理のためのチャンバ構成部品のインサイチュ保護被膜 2022年 2月10日
特開 2022-25137 RF供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法 2022年 2月 9日
特表 2022-513479 3D NAND構造上の原子層堆積 2022年 2月 8日
特表 2022-512675 ホローカソード放電抑制用に構成されたフローアパーチャを有するシャワーヘッドフェースプレート 2022年 2月 7日
特表 2022-512852 He孔着火/アーク放電を防止する特徴を有する高出力静電チャック 2022年 2月 7日
特表 2022-510862 インターバル調整パージによるスループットの向上 2022年 1月28日
特表 2022-510259 エッジリングリフトを用いた動的シース制御 2022年 1月26日
特表 2022-510260 強化された熱均一性のための多層ヒータを備えたセラミック台座 2022年 1月26日
特表 2022-510266 原子層堆積または化学蒸着のための方法および装置 2022年 1月26日
特表 2022-510428 ボイドフリーの低応力充填 2022年 1月26日
特表 2022-510429 多重ヒータアレイを備えた静電チャックのための長寿命かつ拡張温度範囲の埋め込みダイオード設計 2022年 1月26日
特表 2022-509621 タングステン用モリブデンテンプレート 2022年 1月21日

188 件中 151-165 件を表示

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2022-518487 2022-516772 2022-28796 2022-514171 2022-25137 2022-513479 2022-512675 2022-512852 2022-510862 2022-510259 2022-510260 2022-510266 2022-510428 2022-510429 2022-509621

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