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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2022-95896	移動可能エッジリングおよびガス注入調節によるウエハ上ＣＤ均一性の制御	2022年 6月28日
特表 2022-530206	クアッドステーションプロセスモジュール用のフォアラインアセンブリ	2022年 6月28日
特表 2022-530213	空間的に調節可能なウエハへのＲＦ結合を有する静電チャック	2022年 6月28日
特表 2022-529605	高密度の、制御された集積回路工場	2022年 6月23日
特開 2022-92006	単一プラズマチャンバにおける、限界寸法制御のための原子層堆積及びエッチング	2022年 6月21日
特表 2022-529243	表面被覆処理	2022年 6月20日
特表 2022-529263	ガス送給用のモジュール式構成要素システム	2022年 6月20日
特表 2022-529056	原子層堆積中の急速フラッシュパージング	2022年 6月16日
特表 2022-527940	インデックス付きマルチステーション処理チャンバにおけるウエハ載置の補正	2022年 6月 7日
特表 2022-527460	高エッチング選択性かつ低応力のアッシャブルカーボンハードマスク	2022年 6月 2日
特表 2022-527468	エッチングストップ層	2022年 6月 2日
特表 2022-526980	プラズマ系反応器のための冷却	2022年 5月27日
特開 2022-78295	電気メッキ中の電解液の監視	2022年 5月24日
特表 2022-526124	高アスペクト比フィーチャのエッチング中の限界寸法制御および保護層の形成に使用される炭素ベース堆積物	2022年 5月23日
特表 2022-525753	エッチングリアクタ用のターボ分子ポンプおよびカソードアセンブリ	2022年 5月19日

188 件中 106-120 件を表示

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2022-95896 2022-530206 2022-530213 2022-529605 2022-92006 2022-529243 2022-529263 2022-529056 2022-527940 2022-527460 2022-527468 2022-526980 2022-78295 2022-526124 2022-525753

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