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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-523262	シャワーヘッド覆い	2022年 4月21日
特表 2022-522752	プラズマ処理チャンバ用アルミニウム構成部品のための積層エアロゾル堆積被膜	2022年 4月20日
特表 2022-522419	側壁洗浄によるイオンビームエッチング	2022年 4月19日
特表 2022-522467	基板搬送ロボットの自動較正用治具	2022年 4月19日
特表 2022-522146	一体型ツール昇降機	2022年 4月14日
特表 2022-522226	高ステップカバレッジのタングステン堆積	2022年 4月14日
特開 2022-58614	断続的な再修復プラズマを用い、ＡＬＤによる酸化ケイ素表面コーティングを使用したラジカル再結合の最少化	2022年 4月12日
特開 2022-58860	統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ	2022年 4月12日
特表 2022-521291	陽極酸化およびコーティングされた表面の巨視的なテクスチャ	2022年 4月 6日
特表 2022-520692	ピンリフター試験基板	2022年 4月 1日
特表 2022-520744	テクスチャリングされたシリコン半導体処理チャンバ構成部品	2022年 4月 1日
特表 2022-520784	セラミックモノリシック本体を備えた静電チャック	2022年 4月 1日
特表 2022-520797	半導体処理における異常プラズマ事象の検出および軽減	2022年 4月 1日
特表 2022-520394	抑制制御を伴うタングステンフィーチャ充填	2022年 3月30日
特表 2022-520038	基板位置の検出および調整	2022年 3月28日

188 件中 136-150 件を表示

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2022-523262 2022-522752 2022-522419 2022-522467 2022-522146 2022-522226 2022-58614 2022-58860 2022-521291 2022-520692 2022-520744 2022-520784 2022-520797 2022-520394 2022-520038

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