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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-533699	ＳｉＣｘＯｙのための核形成層としてのＳｉｘＮｙ	2022年 7月25日
特表 2022-533126	二次電子発生のために様々な平均自由行程を有する介在層または多層積層を用いる極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィ	2022年 7月21日
特開 2022-106941	メインＲＦ発生器およびエッジＲＦ発生器を同期させることによってプラズマチャンバ内のエッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するためのシステムおよび方法	2022年 7月20日
特表 2022-532943	光学プローブを含む電気化学的堆積システム	2022年 7月20日
特表 2022-532794	パージを伴う腐食性ガス用の蒸気アキュムレータ	2022年 7月19日
特表 2022-532159	マルチレベルＲＦ電力パルシングのために高周波（ＲＦ）信号発生器の自動周波数調整を行う方法およびシステム	2022年 7月13日
特開 2022-105059	静電チャック接合のための永久二次浸食封じ込め	2022年 7月12日
特開 2022-101465	フォトレジスト接着および線量低減のための下層	2022年 7月 6日
特表 2022-531127	ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法	2022年 7月 6日
特表 2022-531286	閉ループ多出力無線周波数（ＲＦ）整合	2022年 7月 6日
特表 2022-531447	基板処理システム用フィルタボックス	2022年 7月 6日
特表 2022-530906	静電チャックシステム	2022年 7月 4日
特表 2022-530803	二重周波数、直接駆動誘導結合プラズマ源	2022年 7月 1日
特表 2022-530804	半導体デバイス製造における金属の電着中のシード層の保護	2022年 7月 1日
特開 2022-95877	基板処理システムにおける再循環を低減するためのカラー、円錐形シャワーヘッド、および／または、トッププレート	2022年 6月28日

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2022-533699 2022-533126 2022-106941 2022-532943 2022-532794 2022-532159 2022-105059 2022-101465 2022-531127 2022-531286 2022-531447 2022-530906 2022-530803 2022-530804 2022-95877

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