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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-544486	フェイスレスシャワーヘッド	2023年10月24日
特表 2023-544274	真のラジカル処理のためのリモートプラズマアーキテクチャ	2023年10月23日
特表 2023-544303	純化学的な手段による非晶質炭素ハードマスク膜の堆積速度向上	2023年10月23日
特表 2023-544354	延伸静電チャック電極を備える高温台座	2023年10月23日
特表 2023-544116	高温プロセスのための軸方向に冷却される金属シャワーヘッド	2023年10月20日
特開 2023-154070	ＲＦおよびガス供給のための金属化セラミック管を備える基板台座モジュール	2023年10月18日
特表 2023-543736	セラミックに埋め込まれているヒータのためのコーティング済導体	2023年10月18日
特表 2023-543423	ＴＣＰチャンバのガスプレートを浮遊させるためのキャリアリング	2023年10月16日
特表 2023-542898	プラズマエッチングのためのパッシベーション化学物質	2023年10月12日
特表 2023-542919	堅牢なアッシング可能ハードマスク	2023年10月12日
特開 2023-145608	エッジリング摩耗補償のためのシステムおよび方法	2023年10月11日
特表 2023-541888	高温プロセス用の別々のフェースプレートを有するハイブリッドシャワーヘッド	2023年10月 4日
特表 2023-541910	磁場を用いるプラズマ放電の不均一性制御	2023年10月 4日
特開 2023-138626	フォトレジスト接着および線量低減のための下層	2023年10月 2日
特表 2023-541100	マルチステーション処理モジュール用のリブカバー	2023年 9月28日

259 件中 31-45 件を表示

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2023-544486 2023-544274 2023-544303 2023-544354 2023-544116 2023-154070 2023-543736 2023-543423 2023-542898 2023-542919 2023-145608 2023-541888 2023-541910 2023-138626 2023-541100

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