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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2024年特許取得件数ランキング　　　第216位　154件（2023年：第292位　112件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2024-539058	マルチステーション型半導体処理チャンバのクリーニングのための装置	2024年10月28日
特表 2024-539127	プラズマエッチングにおけるｉｎ－ｓｉｔｕ詰まり除去	2024年10月28日
特開 2024-151332	多重ヒータアレイを備えた静電チャックのための長寿命かつ拡張温度範囲の埋め込みダイオード設計	2024年10月24日
特開 2024-150639	基板処理システムの基板支持体の発熱体のための電源分離回路	2024年10月23日
特開 2024-150670	ラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給して遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするための温度制御を備えた統合シャワーヘッド	2024年10月23日
特表 2024-538526	静電クランプによるリモートプラズマ堆積	2024年10月23日
特表 2024-538650	マルチステーション処理モジュールおよびリアクタアーキテクチャ	2024年10月23日
特表 2024-538796	ベベル洗浄によるストリップ	2024年10月23日
特開 2024-149578	高電力回路からの切り離しを伴わない静電容量測定	2024年10月18日
特表 2024-538225	基板を処理する際の均一性を制御するためのフェーズドアレイアンテナおよび方法	2024年10月18日
特開 2024-147716	３ＤＮＡＮＤ構造内にタングステンおよび他の金属を堆積させる方法	2024年10月16日
特表 2024-537771	エッジ容量結合プラズマチャンバ構造	2024年10月16日
特表 2024-537166	湾曲ウエハ用のエンドエフェクタパッド設計	2024年10月10日
特表 2024-537430	エッジリングへの入力電圧波形変更による極縁フィーチャプロファイル傾斜制御	2024年10月10日
特表 2024-537515	高アスペクト比プラズマエッチングにおける金属含有表面の修正	2024年10月10日

197 件中 46-60 件を表示

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2024-539058 2024-539127 2024-151332 2024-150639 2024-150670 2024-538526 2024-538650 2024-538796 2024-149578 2024-538225 2024-147716 2024-537771 2024-537166 2024-537430 2024-537515

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