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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第178位 197件 (2023年:第146位 259件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第216位 154件 (2023年:第292位 112件)
(ランキング更新日:2025年1月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2024-160403 | 遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするためにラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給するための改良された孔パターンを備える統合シャワーヘッド | 2024年11月13日 | |
特表 2024-542072 | 周波数変調されたマルチレベルアウトフェージング電力増幅器の自動化調節のための方法および装置 | 2024年11月13日 | |
特表 2024-542075 | 水蒸気および酸素の分圧の高速かつ選択的制御を伴う基板処理ツール | 2024年11月13日 | |
特表 2024-541727 | 半導体処理操作におけるエッジ均一性向上のためのエッジリング | 2024年11月11日 | |
特開 2024-159812 | RFプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法 | 2024年11月 8日 | |
特開 2024-159826 | 伸長RFストラップを有するインピーダンス整合器 | 2024年11月 8日 | |
特開 2024-156947 | エッチング層をエッチングするための方法 | 2024年11月 6日 | |
特開 2024-156987 | マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のRF活性化方法 | 2024年11月 6日 | |
特開 2024-156989 | KHZ RF発生器の動作サイクル内でMHZ RF発生器を調節するためのシステムおよび方法 | 2024年11月 6日 | |
特表 2024-540927 | 自動校正ウエハおよび切り欠きを有する校正ウエハを使用する適応型位置決めシステムおよびルーチン | 2024年11月 6日 | |
特開 2024-153798 | 可動エッジリング設計 | 2024年10月29日 | |
特表 2024-539666 | 電極に提供されるRF信号間の位相差を決定するためのシステムおよび方法 | 2024年10月29日 | |
特表 2024-539698 | ラジカル種供給のための穴サイズを有するシャワーヘッド | 2024年10月29日 | |
特表 2024-539719 | 容量結合チャンバのための被覆部品 | 2024年10月29日 | |
特表 2024-538994 | アンモニア/塩素化学半導体処理のための装置およびシステム | 2024年10月28日 |
197 件中 31-45 件を表示
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2024-160403 2024-542072 2024-542075 2024-541727 2024-159812 2024-159826 2024-156947 2024-156987 2024-156989 2024-540927 2024-153798 2024-539666 2024-539698 2024-539719 2024-538994
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1月11日(土) -
1月11日(土) -
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1月15日(水) -
1月15日(水) - 東京 千代田区
1月15日(水) -
1月15日(水) -
1月16日(木) - 石川 金沢市
1月16日(木) -
1月17日(金) - 東京 渋谷区
1月17日(金) -
1月17日(金) -
1月18日(土) -
1月14日(火) - 東京 港区
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