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ラム リサーチ コーポレーション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第178位 197件 下降2023年:第146位 259件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第216位 154件 上昇2023年:第292位 112件)

(ランキング更新日:2025年1月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-160403 遠隔プラズマ膜蒸着を可能にするためにラジカルおよび前駆体ガスを下流チャンバに供給するための改良された孔パターンを備える統合シャワーヘッド 2024年11月13日
特表 2024-542072 周波数変調されたマルチレベルアウトフェージング電力増幅器の自動化調節のための方法および装置 2024年11月13日
特表 2024-542075 水蒸気および酸素の分圧の高速かつ選択的制御を伴う基板処理ツール 2024年11月13日
特表 2024-541727 半導体処理操作におけるエッジ均一性向上のためのエッジリング 2024年11月11日
特開 2024-159812 RFプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法 2024年11月 8日
特開 2024-159826 伸長RFストラップを有するインピーダンス整合器 2024年11月 8日
特開 2024-156947 エッチング層をエッチングするための方法 2024年11月 6日
特開 2024-156987 マルチステーション型堆積システムにおける膜厚整合のための、サイクル及び時間が可変のRF活性化方法 2024年11月 6日
特開 2024-156989 KHZ RF発生器の動作サイクル内でMHZ RF発生器を調節するためのシステムおよび方法 2024年11月 6日
特表 2024-540927 自動校正ウエハおよび切り欠きを有する校正ウエハを使用する適応型位置決めシステムおよびルーチン 2024年11月 6日
特開 2024-153798 可動エッジリング設計 2024年10月29日
特表 2024-539666 電極に提供されるRF信号間の位相差を決定するためのシステムおよび方法 2024年10月29日
特表 2024-539698 ラジカル種供給のための穴サイズを有するシャワーヘッド 2024年10月29日
特表 2024-539719 容量結合チャンバのための被覆部品 2024年10月29日
特表 2024-538994 アンモニア/塩素化学半導体処理のための装置およびシステム 2024年10月28日

197 件中 31-45 件を表示

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2024-160403 2024-542072 2024-542075 2024-541727 2024-159812 2024-159826 2024-156947 2024-156987 2024-156989 2024-540927 2024-153798 2024-539666 2024-539698 2024-539719 2024-538994

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