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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2024年特許取得件数ランキング　　　第216位　154件（2023年：第292位　112件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-138325	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2024年10月 8日
特開 2024-138327	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2024年10月 8日
特表 2024-536715	ハイブリッド周波数プラズマ源	2024年10月 8日
特表 2024-536874	誘導結合プラズマ中のイオンのエネルギーを増大させ、イオンのエネルギーの広がりを減少させる方法および装置	2024年10月 8日
特開 2024-133561	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2024年10月 2日
特開 2024-133562	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2024年10月 2日
特表 2024-535221	ダイレクトドライブ高周波電源のための基準ボックス	2024年 9月30日
特表 2024-535222	ダイレクトドライブ高周波電源のためのジャンクションシステム	2024年 9月30日
特表 2024-535223	直接駆動高周波電源を使用するプラズマ処理システム用の分光反射率測定システムを含む計測エンクロージャ	2024年 9月30日
特表 2024-535295	ＩＣＰ源におけるＲＦ電力の増加を軽減するための筐体	2024年 9月30日
特表 2024-535296	流量制限器の上流側のヒータを使用する複数のステーションへのガス流量のバランシング	2024年 9月30日
特表 2024-534785	静電容量式センサ基板によるシャワーヘッドから台座までのギャップ測定	2024年 9月26日
特表 2024-534873	カルコゲナイド処理技術および装置	2024年 9月26日
特表 2024-534990	ダイレクトドライブ無線周波電源に対するコイルの対称的結合	2024年 9月26日
特表 2024-535072	基板からの残留物除去のためのインサイチュ裏面プラズマ処理	2024年 9月26日

197 件中 61-75 件を表示

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2024-138325 2024-138327 2024-536715 2024-536874 2024-133561 2024-133562 2024-535221 2024-535222 2024-535223 2024-535295 2024-535296 2024-534785 2024-534873 2024-534990 2024-535072

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