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ラム　リサーチ　コーポレーション

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　■　2024年特許取得件数ランキング　　　第216位　154件（2023年：第292位　112件）

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-112973	カメラウエハを使用した台座セットアップ	2024年 8月21日
特開 2024-113104	照射フォトレジストパターニングのための統合乾式プロセス	2024年 8月21日
特開 2024-113176	リソグラフィにおける確率的な歩留まりへの影響の排除	2024年 8月21日
特表 2024-530452	誘電体薄膜堆積のための変換器結合プラズマ源設計	2024年 8月21日
特開 2024-105428	堆積用のデュアルガス供給シャワーヘッド	2024年 8月 6日
特開 2024-105438	ボトムおよびミドルエッジリング	2024年 8月 6日
特表 2024-529362	方形パルス信号を使用するためのプラズマシステムおよび方法	2024年 8月 6日
特表 2024-529433	メソチャネルアセンブリを有する基板支持体	2024年 8月 6日
特開 2024-102202	エアギャップの形成方法	2024年 7月30日
特表 2024-528498	プラズマ条件の画像分析	2024年 7月30日
特表 2024-527755	酸化物膜の成膜速度の増加	2024年 7月26日
特表 2024-527821	ＰＥＣＶＤ堆積システムでの厚さ傾向に対するシャワーヘッド温度ベースの堆積時間補償	2024年 7月26日
特表 2024-527822	プラズマプロセスの監視および制御	2024年 7月26日
特開 2024-99717	マルチ周波数無線周波数（ＲＦ）バイアス用のＲＦフィルタ	2024年 7月25日
特開 2024-99809	モリブデンを含有する膜を形成する方法	2024年 7月25日

197 件中 91-105 件を表示

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2024-112973 2024-113104 2024-113176 2024-530452 2024-105428 2024-105438 2024-529362 2024-529433 2024-102202 2024-528498 2024-527755 2024-527821 2024-527822 2024-99717 2024-99809

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