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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-149578	高電力回路からの切り離しを伴わない静電容量測定	2024年10月18日
特表 2024-538225	基板を処理する際の均一性を制御するためのフェーズドアレイアンテナおよび方法	2024年10月18日
特開 2024-147716	３ＤＮＡＮＤ構造内にタングステンおよび他の金属を堆積させる方法	2024年10月16日
特表 2024-537771	エッジ容量結合プラズマチャンバ構造	2024年10月16日
特表 2024-537166	湾曲ウエハ用のエンドエフェクタパッド設計	2024年10月10日
特表 2024-537430	エッジリングへの入力電圧波形変更による極縁フィーチャプロファイル傾斜制御	2024年10月10日
特表 2024-537515	高アスペクト比プラズマエッチングにおける金属含有表面の修正	2024年10月10日
特開 2024-138325	半導体ＲＦプラズマ処理のためのパルス内のＲＦパルス	2024年10月 8日
特開 2024-138327	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2024年10月 8日
特表 2024-536715	ハイブリッド周波数プラズマ源	2024年10月 8日
特表 2024-536874	誘導結合プラズマ中のイオンのエネルギーを増大させ、イオンのエネルギーの広がりを減少させる方法および装置	2024年10月 8日
特開 2024-133561	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2024年10月 2日
特開 2024-133562	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2024年10月 2日
特表 2024-535221	ダイレクトドライブ高周波電源のための基準ボックス	2024年 9月30日
特表 2024-535222	ダイレクトドライブ高周波電源のためのジャンクションシステム	2024年 9月30日

174 件中 31-45 件を表示

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2024-149578 2024-538225 2024-147716 2024-537771 2024-537166 2024-537430 2024-537515 2024-138325 2024-138327 2024-536715 2024-536874 2024-133561 2024-133562 2024-535221 2024-535222

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