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ラム リサーチ コーポレーション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第188位 174件 下降2023年:第146位 259件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第221位 135件 上昇2023年:第292位 112件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-102202 エアギャップの形成方法 2024年 7月30日
特表 2024-528498 プラズマ条件の画像分析 2024年 7月30日
特表 2024-527755 酸化物膜の成膜速度の増加 2024年 7月26日
特表 2024-527821 PECVD堆積システムでの厚さ傾向に対するシャワーヘッド温度ベースの堆積時間補償 2024年 7月26日
特表 2024-527822 プラズマプロセスの監視および制御 2024年 7月26日
特開 2024-99717 マルチ周波数無線周波数(RF)バイアス用のRFフィルタ 2024年 7月25日
特開 2024-99809 モリブデンを含有する膜を形成する方法 2024年 7月25日
特表 2024-526539 基板の移動を防止するための前面圧力および裏面圧力の監視 2024年 7月19日
特開 2024-96980 ハロゲン系化合物を用いて選択的にエッチングするための原子層エッチングシステム 2024年 7月17日
特開 2024-97021 抵抗熱測定を介するシャワーヘッド加熱の制御 2024年 7月17日
特表 2024-526102 高濃度の分子水素および他のガスの基板処理システムへの送給 2024年 7月17日
特表 2024-526172 高アスペクト比エッチングのための多状態パルシング 2024年 7月17日
特開 2024-96365 間隙充填のためのドープまたは非ドープシリコン炭化物および遠隔水素プラズマ曝露 2024年 7月12日
特開 2024-95763 小さい角発散でピークイオンエネルギ増強を達成するためのシステムおよび方法 2024年 7月10日
特開 2024-95772 堆積副生成物の蓄積からの真空ポンプの保護 2024年 7月10日

174 件中 76-90 件を表示

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2024-102202 2024-528498 2024-527755 2024-527821 2024-527822 2024-99717 2024-99809 2024-526539 2024-96980 2024-97021 2024-526102 2024-526172 2024-96365 2024-95763 2024-95772

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