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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7826418	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2026年 3月 9日
特許 7825678	ＲＦプラズマ・ツールにおける複数レベルのパルス化のためのシステム及び方法	2026年 3月 6日
特許 7824881	レーザ透過型センサを用いたウエハの厚さおよびギャップのその場モニタリング	2026年 3月 5日
特許 7824443	複数のパターニング放射吸収元素および／または垂直組成勾配を備えたフォトレジスト	2026年 3月 4日
特許 7823202	プラズマラジカルエッジリングバリアシール	2026年 3月 3日
特許 7822418	ハロゲン系化合物を用いて選択的にエッチングするための原子層エッチングシステム	2026年 3月 2日
特許 7821211	セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック	2026年 2月26日
特許 7821215	プラズマ処理ツールにおける画像に基づくプラズマシースプロファイル検出	2026年 2月26日
特許 7819096	モリブデン堆積	2026年 2月24日
特許 7818683	金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法	2026年 2月20日
特許 7817996	延伸静電チャック電極を備える高温台座	2026年 2月19日
特許 7815379	複数の出力ポートを有する無線周波数電力発生器	2026年 2月17日
特許 7813341	ラメラセラミック構造	2026年 2月12日
特許 7812790	金属含有ＥＵＶレジストの乾式現像性能を高めるための塗布／露光後処理	2026年 2月10日
特許 7812340	塩素を用いた高アスペクト比誘電体エッチング	2026年 2月 9日

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7826418 7825678 7824881 7824443 7823202 7822418 7821211 7821215 7819096 7818683 7817996 7815379 7813341 7812790 7812340

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