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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7811905	基板支持物の温度分布プロファイルに影響を及ぼす調節できる熱遮蔽物および調節できない熱遮蔽物	2026年 2月 6日
特許 7810704	マルチＲＦ区域化された基板支持体を含むプラズマ密度分布プロファイルを制御するためのシステム	2026年 2月 3日
特許 7809745	マルチ周波数無線周波数（ＲＦ）バイアス用のＲＦフィルタ	2026年 2月 2日
特許 7805960	低抵抗率の接点および相互接続	2026年 1月26日
特許 7805297	熱酸化物スプレーコートとの熱膨張整合を改善するための混合金属ベースプレート	2026年 1月23日
特許 7804660	一体型迂回流路を有するシャワーヘッド	2026年 1月22日
特許 7803712	ホローカソード放電抑制用に構成されたフローアパーチャを有するシャワーヘッドフェースプレート	2026年 1月21日
特許 7803890	ウェハ処理システム用の高コンダクタンス真空バルブ	2026年 1月21日
特許 7803944	ＲＦパルス化スキームの同期及びセンサデータ収集の同期	2026年 1月21日
特許 7802675	集積回路処理におけるウエハ反りの制御	2026年 1月20日
特許 7802003	ウエハエッジガスを排気するための流路を有する排除リング	2026年 1月19日
特許 7802042	フォトレジスト接着および線量低減のための下層	2026年 1月19日
特許 7802081	金属エッチング残渣を有するチャンバの構成要素を洗浄する方法	2026年 1月19日
特許 7799623	コバルト、ニッケル、および、それらの合金の電気メッキ	2026年 1月15日
特許 7795988	タングステン用モリブデンテンプレート	2026年 1月 8日

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7811905 7810704 7809745 7805960 7805297 7804660 7803712 7803890 7803944 7802675 7802003 7802042 7802081 7799623 7795988

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