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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7623300	基板処理システムの静電チャックの温度を監視するためのＲＦ免疫センサプローブ	2025年 1月28日
特許 7623305	基板表面の蒸気洗浄	2025年 1月28日
特許 7622266	マルチレベルＲＦ電力パルシングのために高周波（ＲＦ）信号発生器の自動周波数調整を行う方法およびシステム	2025年 1月27日
特許 7620021	高アスペクト比の３ＤＮＡＮＤエッチングのための側壁のノッチ低減	2025年 1月22日
特許 7618601	複数のパターニング放射吸収元素および／または垂直組成勾配を備えたフォトレジスト	2025年 1月21日
特許 7618720	シャワーヘッド傾斜を動的に調整するためのアクチュエータ	2025年 1月21日
特許 7615119	基板処理システムの自律的な制御及び検査のためのハードウェア・ソフトウェア統合型コンピュータビジョンシステム	2025年 1月16日
特許 7614111	高アスペクト比フィーチャのエッチング中の限界寸法制御および保護層の形成に使用される炭素ベース堆積物	2025年 1月15日
特許 7612618	基板処理システム用の縮径キャリアリングハードウェア	2025年 1月14日
特許 7611856	閉ループ多出力無線周波数（ＲＦ）整合	2025年 1月10日
特許 7611892	半導体処理装置のための非エラストマ性、非ポリマ性、かつ非金属性の膜弁	2025年 1月10日
特許 7611957	加熱素子が埋め込まれた基板支持体のための長寿命高出力端子	2025年 1月10日
特許 7611172	回転アライメントを必要とするエッジリングの自動搬送	2025年 1月 9日
特許 7611215	半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源	2025年 1月 9日
特許 7609636	３次元垂直ＮＡＮＤワード線用の金属充填プロセス	2025年 1月 7日

154 件中 136-150 件を表示

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7623300 7623305 7622266 7620021 7618601 7618720 7615119 7614111 7612618 7611856 7611892 7611957 7611172 7611215 7609636

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