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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第475位 70件 下降2014年:第473位 74件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第385位 67件 下降2014年:第336位 115件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5698043 半導体製造装置 2015年 4月 8日
特許 5693981 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 4月 1日
特許 5687838 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 3月25日
特許 5688308 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 3月25日
特許 5684628 パターン検査装置及びパターン検査方法 2015年 3月18日
特許 5686829 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2015年 3月18日
特許 5687009 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2015年 3月18日
特許 5674866 パターンデータ作成方法、マスク作成方法、半導体装置の製造方法、パターン作成方法及びプログラム 2015年 2月25日
特許 5676307 パターン検査装置及びパターン検査方法 2015年 2月25日
特許 5667848 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 2月12日
特許 5662749 半導体製造装置および半導体製造方法 2015年 2月 4日
特許 5662756 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 2月 4日
特許 5662763 ステージ装置およびこれを用いた電子ビーム描画装置 2015年 2月 4日
特許 5662767 インプリント・リソグラフィ用マスク 2015年 2月 4日
特許 5662790 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2015年 2月 4日

67 件中 46-60 件を表示

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5698043 5693981 5687838 5688308 5684628 5686829 5687009 5674866 5676307 5667848 5662749 5662756 5662763 5662767 5662790

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