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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2023年 特許取得件数ランキング    第509位 54件 下降2022年:第398位 74件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7344725 アライメントマーク位置の検出方法及びアライメントマーク位置の検出装置 2023年 9月14日
特許 7342696 電子ビーム検査装置 2023年 9月12日
特許 7336915 真空装置 2023年 9月 1日
特許 7333277 パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 2023年 8月24日
特許 7326480 パターン検査装置及びパターン検査方法 2023年 8月15日
特許 7325260 真空装置 2023年 8月14日
特許 7322733 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画用プログラム 2023年 8月 8日
特許 7318824 ウィーンフィルタ及びマルチ電子ビーム検査装置 2023年 8月 1日
特許 7316106 収差補正器及びマルチ電子ビーム照射装置 2023年 7月27日
特許 7316127 マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 2023年 7月27日
特許 7310466 マルチ荷電粒子ビーム評価方法 2023年 7月19日
特許 7303052 多極子収差補正器の導通検査方法及び多極子収差補正器の導通検査装置 2023年 7月 4日
特許 7296274 描画装置および偏向器 2023年 6月22日
特許 7296523 成膜装置およびプレート 2023年 6月22日
特許 7292968 荷電粒子ビーム装置 2023年 6月19日

55 件中 16-30 件を表示

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7344725 7342696 7336915 7333277 7326480 7325260 7322733 7318824 7316106 7316127 7310466 7303052 7296274 7296523 7292968

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