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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第609位 49件
(2022年:第572位 53件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第509位 54件
(2022年:第398位 74件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7293148 | 検査装置及び検査方法 | 2023年 6月19日 | |
特許 7292197 | マルチ電子ビーム画像取得装置 | 2023年 6月16日 | |
特許 7278854 | ステージ機構及びテーブル高さ位置の調整方法 | 2023年 5月22日 | |
特許 7275647 | マルチビーム用アパーチャ基板セット及びマルチ荷電粒子ビーム装置 | 2023年 5月18日 | |
特許 7271978 | ステージ装置及び荷電粒子ビーム処理装置 | 2023年 5月12日 | |
特許 7267857 | マルチ荷電粒子ビーム画像取得装置およびマルチ荷電粒子ビーム画像取得方法 | 2023年 5月 2日 | |
特許 7264751 | 検査装置及び検査方法 | 2023年 4月25日 | |
特許 7257915 | 荷電粒子ビーム装置および真空用配管 | 2023年 4月14日 | |
特許 7241570 | マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 | 2023年 3月17日 | |
特許 7238672 | マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 | 2023年 3月14日 | |
特許 7239282 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2023年 3月14日 | |
特許 7234052 | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 | 2023年 3月 7日 | |
特許 7232057 | マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置、及びマルチ電子ビーム照射方法 | 2023年 3月 2日 | |
特許 7231496 | マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射方法、及びマルチ電子ビーム検査装置 | 2023年 3月 1日 | |
特許 7222671 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2023年 2月15日 |
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7293148 7292197 7278854 7275647 7271978 7267857 7264751 7257915 7241570 7238672 7239282 7234052 7232057 7231496 7222671
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4月15日(火) - 大阪 大阪市
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4月16日(水) - 東京 大田
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4月17日(木) - 東京 大田
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4月18日(金) -
4月18日(金) -
4月18日(金) - 北海道 千代田区
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4月23日(水) - 東京 千代田区
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4月24日(木) - 東京 港区
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